GB/T 25915.8-2010 潔凈室及相關受控環境 第8部分:空氣分子污染分級
本標準被
GB/T 25915.8-2021 潔凈室及相關受控環境 第8部分:按化學物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級代替
GB/T25915的本部分依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質(種、組、類)的濃度,對空氣分子污染(AMC)進行分級。同時,本部分在分級技術要求中,給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數的規程。
本部分目前只考慮潔凈室運行工況下100g/m3~10-12g/m3 的AMC濃度。
本部分不涉及那些雖有空氣分子物質存在、但不認為對產品或工藝有風險的行業、工藝和生產。
本部分無意探討空氣分子污染物的特性。
本部分不包含對表面分子污染的分級。