GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關受控環境 第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級
GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關受控環境中,按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A~附錄D中給出了關于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。
本部分適用于潔凈室及相關受控環境中的所有固體表面,如墻壁、頂棚、地板、生產環境、工具、設備和產品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級(SCP)限于粒徑0.05um~500um的粒子。
本部分對以下事項未予考慮:
一特定工藝的潔凈度及適合性要求;一表面的清潔步驟;一材料特性;一涉及相互結合力或通常與時間和工藝過程有關的事項;一分級和測試統計方法的選擇和使用;
——粒子的其他特性,如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。