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標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)別 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 發(fā)布日期 2018-06-07
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)  關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)有效性標(biāo)注的說(shuō)明 實(shí)施日期 2018-10-01
頒發(fā)部門(mén) 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì),國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 廢止日期 暫無(wú)
標(biāo)準(zhǔn)介紹
GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)
GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)
GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度來(lái)劃分固體表面潔凈度等級(jí)。附錄A~附錄D中給出了關(guān)于表面特性的信息以及推薦的檢測(cè)和測(cè)量方法。
本部分適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的所有固體表面，如墻壁、頂棚、地板、生產(chǎn)環(huán)境、工具、設(shè)備和產(chǎn)品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級(jí)（SCP）限于粒徑0.05um~500um的粒子。
本部分對(duì)以下事項(xiàng)未予考慮：
一特定工藝的潔凈度及適合性要求；一表面的清潔步驟；一材料特性；一涉及相互結(jié)合力或通常與時(shí)間和工藝過(guò)程有關(guān)的事項(xiàng)；一分級(jí)和測(cè)試統(tǒng)計(jì)方法的選擇和使用；
——粒子的其他特性，如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。
如查看標(biāo)準(zhǔn)顯示亂碼請(qǐng)點(diǎn)擊“下載標(biāo)準(zhǔn)” 如點(diǎn)擊下載后在瀏覽器打開(kāi)pdf文件，保存該文件有兩種方法： 1、在預(yù)覽頁(yè)正文處點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵另存為。 2、后退返回本預(yù)覽頁(yè)，在“下載標(biāo)準(zhǔn)”按鈕處點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵另存。 如下載不成功請(qǐng)稍后再試，使用下載工具下載可能不成功。
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