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GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼
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標準類別 國家標準 發布日期 暫無
標準狀態  關于標準有效性標注的說明 實施日期 暫無
頒發部門 暫無 廢止日期 暫無
標準介紹
GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼

GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼

本標準規定了電子工業用三抓化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。
本標準適用于以粗制三抓化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三抓化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注人、干法蝕刻等工藝。

被GB/T 17874-2010代替。

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