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GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼
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GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼

GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三抓化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸、貯存和安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三抓化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三抓化硼，主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴散、離子注人、干法蝕刻等工藝。

被GB/T 17874-2010代替。

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