作為污染控制計劃的一部分,本文件對潔凈室易損表面上粒子沉積速率(PDR)測量結(jié)果的解釋和應(yīng)用提供了指導(dǎo)。提供了PDR的影響因素和降低易損表面上粒子污染風(fēng)險的說明。
本文件提供了潔凈室測量PDR來確定易損表面上大粒子的可接受濃度限值和風(fēng)險評估方法,能確定粒子沉積到易損表面的可接受風(fēng)險。當(dāng)風(fēng)險不可接受時,則需要采取潔凈控制措施來降低PDR。
粒子遮蔽速率(POR)是一種替代PDR的方法,其定義為粒子在表面上隨時間增加的覆蓋率。POR的使用方式與PDR類似,也用于計算指定表面所需的POR,以降低沉積粒子的風(fēng)險。
本文件:
-不提供根據(jù)PDR或POR對潔凈室的分級方法;
-不直接考慮沉積的攜帶微生物粒子的活性;
-不考慮通過接觸產(chǎn)生的表面沉積,例如人員觸摸產(chǎn)品導(dǎo)致的污染。