本文件規定了支持潔凈室和潔凈區運行的檢測方法,以滿足空氣潔凈等級、其他潔凈屬性和相關控制條件。
性能檢測針對的是空態,靜態和動態3種任一占用狀態下的單向流和非單向流型式的潔凈室和潔凈區。
本文件推薦了測定性能參數用的檢測儀器和檢測程序。某些檢測方法受限于潔凈室或潔凈區的類型,為此,本文件推薦了若干替代方法。
為了滿足不同用戶的要求,對于某些檢測項目,本文件推薦了幾種不同的方法和儀器。若供需雙方協商同意,也可以使用本文件未介紹的其他替代方法。替代方法未必給出相同的測量結果。
本文件不適用于測量潔凈室或隔離裝置內的產品或工藝。